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SiC衬底

优点: 1.优良的热学、力学、化学和电学性质 2.制作高温、高频、大功率电子器件的优质材料 3.可用作基于GaN的蓝色发光二极管的衬底材料

关键词:

闪烁体 | 闪烁阵列 | 闪烁体探测器 | 单晶基板 | 声光传感器

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产品详细信息

描述

碳化硅(SiC)是Ⅳ-Ⅳ族二元化合物, 也是元素周期表Ⅳ组元素中唯一的稳定固态化合物, 是一种重要的半导体材料。 它具有优良的热学、力学、化学和电学性质, 不仅是制作高温、高频、大功率电子器件的优质材料之一,也可以用作基于GaN的蓝色发光二极管的衬底材料。目前用于衬底的碳化硅以4H为主,导电类型分为半绝缘型(非掺、掺杂)与N型。

性能参数

生长方法MOCVD
晶体结构六方
晶格常数a=3.07 Å     c=15.117 Å 
排列次序ABCACB
方向生长轴或 偏<0001> 3.5 º
带隙3.02 eV (间接)
硬度(Mho)9.2
密度(g/cm3)3.21
折射率no=2.55   ne=2.59
热传导@300K3 - 5 x 106W/ m
介电常数e(11)=e(22)=9.66 e(33)=10.33

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锆宸科技(上海)有限公司